アルミニウム表面プラズモンカラーフィルタ

摘要

本研究では、表面プラズモン共鳴を利用したカラーフィルタの開発を目的とし、高いプラズマ周波数を有し従来の半導体微細加工技術が適用可能なアルミニウム薄膜に電子ビーム描画および反応性イオンエッチングを用い周期300～400nm、直径150～200nm程度の高精度なホールアレイを形成した。ホールアレイは、周期を制御することで可視光全領域をカバーする透過率30％、透過帯域50nmのフィルタ特性を示した。