フェライト薄膜用ECRスパッタ装置

摘要

地域新生コンソーシアム（平成13年度から3ヵ年）において，高周波通信デバイス用材料として注目されているNi-Znフェライト薄膜用ECRスパッタ装置を開発し，as-depoで(400)面スピネル結晶構造を示す高品位Ni-Znフェライト薄膜の低温成膜に成功した。 この成果を受けて，2005年度に量産対応のSLC-1600（6インチ）型装置の開発を進め，面内膜厚分布，並びに膜厚再現性ともに±1％以下を達成し，開発を完了した。