Y_2O_3：Eu~(3+)薄膜におけるカソードルミネッセンス高効率化のためのポストアニーリング条件の検討

摘要

私たちは、集光電子ビームによりY_2O_3：Eu~(3+)薄膜を励起した際に放射されるナノメートル拡がりを持つカソードルミネッセンス光を超解像度顕微鏡のための光源として利用することについて提案している。この論文では電子ビーム蒸着法によって作製したY_2O_：Eu~(3+)蛍光体薄膜におけるカソードルミネッセンス量子収率向上のための最適なアニーリング条件にらいて検討した結果について報告する。蛍光体薄膜の膜厚及び加速電圧に対するカソードルミネッセンス強度の依存性についても議論する。更に、作成されたY_2O_3：Eu~(3+)蛍光体薄膜を用いた超解像度顕微鏡の性能について評価するために、平均粒径100nmの金ナノ粒子をマッピングした結果についても紹介する。