離散的な不純物の扱いに関する基礎的検討

摘要

微細化にともない原子レベルの不純物分布がデバイス特性に与えるばらつきが問題となっている．離散的な不純物のδ関数的な濃度分布は数値的に不安定なので，分布に広がりを持たせたせてドリフト拡散に取り込むことが試みられている．しかし，それが不純物散乱の描像の分解能を低下させるとの指摘もある．本研究では，離散的な不純物の扱いの基礎的検討をおこない，離散的な分布のままドリフト拡散で取り扱う方法を述べる．