強力空中超音波の広範囲照射による固体浅層の複数欠陥のイメージング

摘要

強力空中超音波と光学機器を用いた固体材料内の非接触非破壊検査技術の開発を行っている.本手法は，強力な空中超音波(20kHz～100kHz)を対象表面に照射し，対象物の表面に発生した振動の速度分布を利用して，対象内部の欠陥を検出するものである.本報告では，広範囲に強力空中超音波を照射できるビーム音波を用い，欠陥部表面に発生するガイド波を利用して複数の欠陥を同時にイメージングする手法について試みている.