低損失有機-無機ハイブリッド樹脂を用いたシングルモードポリマー光導波路

摘要

昨今注目を集めているシリコンフォトニクス技術との親和性を高めるべく，有機-無機ハイブリッド樹脂を用いてシングルモードポリマー光導波路を作製し，通信波長帯での低損失化に成功した．当研究室にて考案されたMosquito法を応用して作製したシングルモードポリマー光導波路の，1550nmにおける伝搬損失の値は，汎用有機ポリマー光導波路の同波長における損失値（約1.2dB/cm）の1/2以下の0.49dB/cmであった．さらに，Mosquito 法を用いて作製した狭ピッチ（50μm）のシングルモードポリマー光導波路のチャネル間クロストークを，波長1550nmで測定したところ，十分に低い-35.0dBであった．本手法は，フォトマスクやプロジェクション露光などの特殊な製造法を必要としておらず，本シングルモードポリマー光導波路のシリコンフォトニクス技術への応用が期待される．