熱処理法によるアルミン酸ストロンチウム薄膜の作製

摘要

本研究では,アルミン酸ストロンチウム薄膜の作製法の検討を行うために,スパッタ堆積後,空気中で熱処理温度を変化させてアルミン酸ストロンチウム薄膜の作製を行った。 その結果,以下のことを明らかにした。 (1)スパッタ膜を酸素分圧0.1 Paで堆積した後,空気中1000℃で熱処理を行うと最も結晶性及び(010)配向性が良い膜が得られ,膜の剥離を抑制することが可能である。 (2)熱処理温度が1000℃以外は, Sr, Al, Oの組成比が約1:2:4であるが,スパッタ膜を酸素分圧0.1 Paで堆積した後,1000℃の膜では膜内部の組成分布が異なり,膜の中心部では, Sr, AL, Oの組成比が約1:2:4の組成であるのに対し,膜の端部では,1:4:7または4:14: 25に近い組成である。 (3)空気中で900℃以上の熱処理を行った膜から発光ピークが観測される。 (4)スパッタ膜を酸素分圧0.1 Paで堆積した後,空気中1000℃で熱処理を行って作製した膜では,中心部において2価のEu に起因した緑色の発光が,端部では3価のEuに起因した赤色の発光が確認される。 (5)熱処理温度1000℃以外の発光が確認された膜では,3価のEuに起因した赤色の発光である。