LiNbO{sub}3およびLiTaO{sub}3圧電単結晶を用いた電子機構デバイスの展望

摘要

圧電体としての電気機械結合係数の大きなニオブ酸リチューム（LiNbO{sub}3）とタンタル酸リチエーム（LiTaO{sub}3）を利用した電子機構デバイスについて，研究開発の現状と将来展望を述べる。 まず，圧電材料としての特長や研究開発の視点などを述べる。 具体的なデバイスとしては，筆者がこれまで研究開発に携わった圧電バルク波デバイスとして，圧電振動子，圧電トランス，圧電ジャイロや圧電アクチュエータなどを中心に取り上げる。