バルブ金属（Hf,Zr,Nb）2層陽極酸化膜キャパシタの損失特性と拡散現象

摘要

Zr,Hf,Nbの3種類のバルブ金属を組み合わせた2層膜を陽極酸化して作製したキャパシタの損失特性と構成元素の拡散現象を調べた結果，2層膜の構成元素が拡散しない組合せであるZr/Hf2層膜の陽極酸化膜キャパシタでtanδを0.004以下の低損失キャパシタにすることができる．