集光フェムト秒レーザー加工を用いたガラス表面上への微細構造の形成

摘要

本報告では，焦点深度に対して十分に厚い膜を加工対象に塗布して加工を行うことで，加工対象の融解や蒸発を低減や加工対象からの物質の飛散や融解物の流れ出しの低減ができることを示す．さらに，透明材料の膜厚を調整することにより，熱による加工領域の増大やプラズマによる材料放出の遮蔽効果により，突起状の構造物を作製できることを示す，具体的には，加工対象であるガラス表面にpoly-methyl methacrylate)PMMA)をコートして，エネルギーや集光位置を変化させてレーザーを照射したときに形成される構造の観察結果を示し，デブリや熱的ダメージの低減効果，さらに，物質放出の遮蔽効果による微小突起の形成について述べる．