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机译:機械的共振を用いた波長可変マイクロマシン面発光レーザの広帯域掃引·低駆動電圧動作
西村駿; 中濵正統; 井上俊也松谷晃宏坂口孝浩小山二三夫;
東京工業大学未来産業技術研究所フォトニクス集積システム研究コア;
東京工業大学技術部マイクロプロセス部門;
MEMS VCSEL; マイクロマシン構造; 低電圧; 高速波長掃引光源;
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