レーザスペックル干渉を利用した面内微小振動変位の絶対測定

摘要

本論文では，振動子を模した試験片にミラーを垂直に取り付け，これを外部から加振することで，レーザスペックル測定法による面内振動変位測定の絶対測定の可能性について検証する．まず，この試験片の面内振動変位をマイケルソン干渉計により測定し，スペックル画像から振動変位を見積もる方法について述べる．さらに実際の振動子測定に提案手法を適用し，測定および処理結果から提案法の有効性を明らかにする．