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Si基板上に形成された光導波路の漏れ損失

机译:在硅衬底上形成的光波导的泄漏损耗。

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摘要

高屈折率のSi基板上に形成された光導波路の漏れ損失を種々の手法を用いて解析する.更に,クラッドと基板の間に低屈折率の SiO2膜を挿入した場合の損失低減効果を明らかにする.
机译:我们将使用各种方法分析在高折射率的Si衬底上形成的光波导的泄漏损耗,并阐明在包层和衬底之间插入低折射率SiO2薄膜时的损耗降低效果。

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