多レーン集積光モジュールの小型化に向けた高精度レンズ実装技術

摘要

異なる2つの高精度レンズ実装技術を開発した。高精度接着技術では、材料や実装条件などの最適化により、硬化収縮によるレンズの実装位置ばらつきを目標±0.3μmに対して±0.07μmにまで抑え、高密度レーザハンマリング技術では、新たなレンズホルダ構造を開発、従来と同様、レンズホルダ上部に高出力レーザを照射することで、レンズ位置を全方向、高精度に調整できることを計算により確認した。2つの技術を適用して試作した100GbE TOSAは、15.1mm（L）×6.5mm（W）×5.6mm（H）とQSFP28に搭載可能サイズを実現した。測定したDC光出力はいずれのTOSAにおいても＋4.0dBm以上であり、目標とする0.9dBmを満足した。OMAはER4規格である0.1～4.5dBmを満足する見込みである。