マグネトロンスパッタリング法によるLCD透明電極用不純物添加ZnO系透明導電膜の作製

摘要

高周波電力重畳と適合した焼結体ターゲットを両方採用した酸化抑制型直流マグネトロンスパッタ法を使用して作製された不純物添加ZnO系透明導電膜において、LCD用透明電極として実用可能な低抵抗率と均一な抵抗率分布が実現された。不純物添加ZnO系薄膜において、膜厚の減少に伴う抵抗率の増加及び高温多湿環境下（大気中にて温度60℃、相対湿度90％）での抵抗率の耐湿安定性の低下が認められた。抵抗率及びその耐湿安定性の膜厚依存性は、第二不純物を共添加することにより著しく改善された。