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机译:基于铁电薄膜的平面静电微电机
Ferroelectric films; micromotor; electrostatics;
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机译:具有纳米间隙的基于铁电的静电微电机
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机译:静电在自由站立岛屿纹理中的作用 铁电液晶薄膜
机译:平面旋转磁微电机,带集成轴编码器和磁悬浮转子