OH-related capacitance-voltage recovery effect in MOS capacitors passivated by PbO-B2O3-SiO2-CaO glasses Part VI The effects of CaO content

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• 来源
  《Journal of Materials Science Letters》 |2004年第9期|626-628|共页
• 作者

  K.Kobayashi;

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• 作者单位

  Toshiba ULSI Research and Development Center;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 英语
• 中图分类
• 关键词