三次元入射する平面波の回折格子散乱特性のハイブリッドトレフツ有限要素法解析

摘要

任意の入射方向と偏波をもつ入射平面波（三次元入射）の回折格子による散乱特性をハイブリッドトレフツ有限要素法を用いて解析している．本手法は，トレフツ要素を用いるため，通常の有限要素のみを用いた解析よりも未知数を低減できる特徴をもっている有用な手法である．本手法の三次元問題への拡張の妥当性を検証するために，三次元入射における一次元周期構造回折格子の散乱特性解析を行い，他の解析法との計算結果の比較を行っている．