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Controllable Self Assembly of Colloidal Crystal Arrays on SU-8 Photoresist Micropatterns

机译:SU-8光刻胶微图案上胶体晶体阵列的可控自组装

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摘要

In this paper, we report on the effect of micropatterned SU-8 photoresist surfaces to self assembly of ordered colloidal crystal arrays. SU-8 microstructures are photopatterned onto glass substrates with minimal feature resolution of 1.5 μm using ultraviolet (UV) exposure. By simply controlling the colloidal concentration of the self assembly solution and the dimensions of the micropatterns, ordered colloidal crystal arrays are formed inside the SU-8 micropatterns. The method may have potential applications in photonic crystal device and chip fabrications.
机译:在本文中,我们报告了微图案化SU-8光刻胶表面对有序胶体晶体阵列自组装的影响。 SU-8微结构使用紫外线(UV)曝光,以最小的特征分辨率1.5μm进行光致图案化到玻璃基板上。通过简单地控制自组装溶液的胶体浓度和微图案的尺寸,在SU-8微图案内部形成有序的胶体晶体阵列。该方法在光子晶体器件和芯片制造中可能具有潜在的应用。

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