酸化半導体を用いた3チャンネル平面型匂いセンサーの特性

摘要

近年、食料品の鮮度測定や麻薬の取り締まり、及び化粧品等、匂いを発する製品の品質管理など、匂いセンサーのニーズは多い。 匂いセンサーには、超音波振動子型、表面プラズモン型、酸化半導体型など、いくづかの種類がある。 酸化半導体を用いた匂いセンサーにおいては、匂い物質が存在すると酸化半導体の表面状態が変化し、半導体の電気抵抗が変化する性質を利用する。 我々は、円筒型の酸化半導体を用いた2チャンネル匂いセンサーを作製し、紅茶などの匂いの識別に成功している。 今回、酸化半導体を用いた3チャンネル平面型匂いセンサーを作製し、紅茶などの匂いの識別を試みたので、それらの結果について報告する。