Hier encore, les gyroscopes (capteurs de vitesse angulaire) etaient de grosses boites noires de plusieurs dizaines de centimetres carres. Avec les ADXRS 150 (1507s) et 300 (3007s), d'Analog Devices, ils se reduisent desormais a de minuscules boitiers de circuits integres (7 X 7 X 3mm). Le secret de cette transformation? Le micro-usinage du silicium, a l'image de ce que l'industrie produit depuis deja plusieurs annees en matiere d'accelerometres. En fait, l'utilisation de ce materiau n'est pas non plus vraiment nouvelle pour les gyroscopes, mais c'est en revanche la premiere fois que l'element sensible (8 mug oscillant a 15 kHz) et l'electronique de traitement du signal sont integres sur la meme puce, et surtout a un tel degre de miniaturisation.
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机译：就在昨天，陀螺仪（角速度传感器）是几十平方厘米的大黑匣子。借助ADI公司的ADXRS 150（1507s）和300（3007s），它们现在被缩小为微型集成电路盒（7 X 7 X 3mm）。这种转变的秘密？硅的微加工，就像该行业几年来在加速度计方面的生产一样。实际上，对于陀螺仪来说，这种材料的使用并不是真正的新事物，但是，另一方面，这是敏感元件（8个杯子以15 kHz的频率振荡）和处理电子器件的首次使用。信号被集成在同一芯片上，并且首先以这种小型化程度集成。
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