制御システム

摘要

当社は，半導体および液晶などのフラットパネルディスプレイ製造用のXYステージを開発，製造，販売している。半導体の分野ではデバイスの高集積化に伴う回路の微細化やパッケージの小型化，FPDの分野では基板サイズの大型化が進んでおり，当社のコア技術である機構技術，アクチェータ技術およびサーボ技術で差別化された精密位置決め装置（XYステージ）を提供し，顧客ニーズに応えてきた。2005年4月に，住重制御システム株式会社（SCS）を組織統合した。