弾性表面波デバイスの表面波回折効果の光学測定と数値解析

摘要

128°Y－X LiNbO_3基板上の正規形電極からの表面波の回折効果の光学測定結果とY－ZLiNbO_3基板上の分散形遅延線のchirp IDTからの表面波の回折効果の光学測定結果を，速度異方性のパラボリック近似によるフレネル積分を用いてシミュレーションした．その結果，Kovacsらまたは櫛引らの材料定数より求めた異方性パラメータを用いると実験結果とよく一致し，また分散形遅延線のchirpIDTからの左右非対称の表面波ビームの回折現象もよく説明できることがわかった．