蒸着テープの微細構造と成長機構－Coc軸分布集中のメカニズム

摘要

蒸着テープの組織を決定する成長機構について検討した．CoO下地層と磁性層界面，及び、磁性層内部で隣接するCo粒子とCoO粒子の方位関係を電子顕微鏡で調べた結果，隣接粒子間でCoO粒子上にCo粒子が成長した場合にCo〈001〉／／CoO〈111〉の優先方位関係が見出された．一方，Co粒子上にCoO粒子が成長した場合は，必ずしもこのような優先方位関係は見られなかった．このような方位関係から，CoO下地層による磁性層のCo粒子のc軸分布の集中が促進されるメカニズムや，蒸着テープ特有の磁性層が形成されるメカニズムの説明を試みた．