位相マスクを用いたブレーズグレーティングの作製

摘要

高生産のブレーズグレーティング作製法として，位相マスクによる干渉露光法を検討している．位相マスクで複数の回折光を生成し，空隙を伝搬させた後にフーリエ合成により鋸歯状光強度分布を形成し，レジストを露光する手法である．3μm周期の鋸歯状光強度分布形成用位相マスクを設計，作製した．電子ビーム直接描画リソグラフィによりSiO{sub}2基板表面を65nm深さの凹凸に加工して，位相マスクを得た．位相マスク裏面から波長244nmのレーザ光を照射して，凹凸表面から15μm離れた位置で3μm周期の鋸歯状光強度分布を確認した．UVレジストを塗布した基板を空隙15μm介して位相マスクに対向させ設置，露光，現像してレジストに鋸歯形状を作製した．