レーザ加工システム

摘要

レーザアニーリング装置は，堅調な需要の伸びを示している液晶基板業界を反映し，大型基板対応機種（基板サイズ730×920mm対応）のELA9700-TW（ツイン）に続き，ラインナップに加えたELA9700-SG（シングル）が顧客の好評を得ている。 また，半導体用に全固体レーザを搭載したアニーリング装置を開発し，販売を始めた。さらに，システム開発だけでなく，加工品質を左右するレーザのプロファイルをオンラインでモニタリング可能な測定器を開発し，加工プロセスの安定性にも注力している。