Roboterbasierte Automatisierung der Nanohandhabungsprozesse: Mikroroboter helfen der Mikro - und Nanotechnologie

摘要

In vielen Bereichen sind Roboter erforderlich, die sehr kleine Objekte mit einer Genauigkeit im Manometerbereich handhaben konnen. Die besten Beispiele sind die Mikrosystemtechnik und die Manotechnologie. Flexible, modulare Nanoroboter - nebst speziellen Handhabungs-, Aktor-, Sensor-, Regelungs- und Steuerungstechniken - werden hier als eine der Schlusseltechnologien angesehen. Besonders der Einsatz von Manorobotern in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) ist fur verschiedene Anwendungen der Manotechnologie von grosser Bedeutung. Die Entwicklung solcher Roboter in der Abteilung fur Mikrorobotik und Regelungstechnik (AMiR) der Universitat Oldenburg erfolgt in engem Kontakt zur Industrie im Rahmen von nationalen und internationalen Forschungsprojekten.