精密機器・極低温超電導装置

摘要

当社は，2004年4月，ダイキン工業株式会社より冷凍部門の技術移管を受けた。 クライオポンプは口径6インチから22インチの7種類を製品として持つことができ，今後の半導体装置分野への進出の足がかりを得た。 GM＋JT方式の4K冷凍機も新たな機種として加え，客先ニーズに合わせて幅広い製品を供給することが可能になった。 チラーユニットは，既存の機種からチャックの冷却・加熱時間の短縮を図った機種を投入した。 これにより，客先のサイクルタイムの低減を可能にした。 当社の持つヘリウムフリー技術と，新たに開発した超電導強化線の採用により，世界でも類を見ない大口径・強磁場のヘリウムフリー超電導磁石を実現した。 この磁石は，強磁場科学研究用途を始めとしたさまざまな分野での利用が期待できる。