ボルケーノ構造スピント型エミッタの電子放出特性

摘要

フィールドエミッタアレイをイメージセンサーへ応用することを視野に入れて、従来シリコンエミッタ上で作製してきたボルケーノ構造のダブルゲート電極を、スピント型エミッタへも適用できるような新たな作製プロセスを考案した。ボルケーノ構造ダブルゲートエミッタを実際に試作し、電圧電流特性や電子ビームの集束特性などの電子放出特性を評価した。