高周波用チップコンデンサの電極構造に関する検討

摘要

3 GHz以上の高周波数帯で使用可能なチップコンデンサの特徴は，低容量であることとその定数精度の絶対値が極めて小さいことである．そこで，筆者はコンデンサの電極に積層方向で直接対向しない櫛型構造を適用して，必要とする容量値を精度良く，かつ安定的に実現させる可能性について検討してきた．本論文ではまず前述の電極構造による効果について，シミュレーションによって検討を行い，次にその設計に基づいて試作を行い，それらの比較によりそのシミュレーションモデルの妥当性を確認するとともに，検討した電極によるチップコンデンサはその容量値について+-5％以内の精度で安定的に実現できることを確認することができた．