複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム

摘要

フェイルビットマップ(FBM)解析ツールの機能として、同一サンプルに対して異なったテスト条件下で取得した複数FBMの同一領域に出現するフェイルビットパターンを組み合わせることでモード分類を詳細に行うことができるシステムを開発した。 その結果、詳細な不良モード分類を容易に行うことが可能になった。