In-Situ THB/HAST/TC装置の開発

摘要

LSIパッケージとプリント基板の評価に使用するIn-Situ THB/HAST/TC装置を開発した。 HAST/THB装置では64-300端子の電源リークを常時測定してストレス印加中の製品の特性劣化の検出が可能となった。TCでは300までの4端子抵抗測定を実行できる。 これら装置の概要について述べる。