フェムト秒レーザーを用いた金属材料上への微細構造形成

摘要

フェムト秒レーザー加工は，ナノ秒レーザー加工と比 較した場合，注目すべき優位性がある。 その優位性は， フェムト秒レーザー照射による気相とプラズマ相の非常 に急速な形成，ケス及び液相がほとんど存在しない点か ら生じる。 これにより熱影響部が少なく，照射部（加工 部）周辺に形態変化を引き起こさない微細加工，いわゆ る加工部エッジのシャープな加工が可能となる。 これら の優位性に加え，フェムト秒レーザーを金属材料表面に 照射するとレーザーの偏光方向に依存した微細構造が形 成されるという特徴がある。