Li二次電池用Mn酸化物薄膜の作製と評価

摘要

Li二次電池の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。 Mn酸化物は反応性蒸着法により生成しているが、蒸着の際にMnの酸化を防止するためのセパレーター(SUS cell)を設置した。 また、Mn酸化物の成長速度は初回15 (A/s)付近で再現性が良いことがわかっている。 本研究では、成長速度の再現性が良くなるような、セパレーターの長さやソース温度などのパラメーターを調査した。