伝送線路モデル（TLM）による高精度低抵抗抵抗器の電極接触抵抗の評価

摘要

伝送線路モデル（TLM）を用いて電極部分の接触抵抗を，全抵抗から分離して測定#12539;評価した．抵抗体としてNi-Cr合金またはCu-Ni合金を用い，銅（Cu）の電解めっきにより電極を形成した試料について測定した．電極金属の抵抗も考慮した伝送線路モデルを用いた理論値を導くとともにこれを使った抵抗値の計算値を測定結果と比較した．その結果，電極金属の面抵抗を無視した場合，単位面積当りの接触抵抗は，CuとNi-Cr合金の間で2→3×10~(-9)Ωm~2，CuとCu-Ni合金の間で2×10~(-10)Ωm~2と概算された．温度特性を含めた検討から低抵抗かつ高精度を要求される抵抗器では，電極部分の性能が特性を支配することが示された．