精密機器・極低温超電導装置

摘要

当社クライオ事業の主力製品は，医療用MRIを始めとした 用途向けの4KGM冷凍機である。 今後の事業拡張を狙い，極 低温冷凍機に限らず，さらに新たな商品開発を行っている。 2006年度の市場投入装置を次に示す。 （1）振動を嫌う分析，計測機器への適用を狙いとし，低温 端の振動を数μmまで低減した4Kパルス管冷凍機 （2）半導体製造装置の真空排気用として使われるクライオ ポンプの拡充として，省エネルギー化および新機能を付 加したSICERA12インチ （3）半導体ウエハの電気特性検査用として使われている従 来機からさらに性能を向上させたチラーユニット 今後も，お客様の要求に対応しながら，新たな市場開拓を 積極的に行い，より良い装置を提供していく所存である。