128×128ポート3D－MEMS光スイッチモジュールの光接続特性

摘要

ポート数128の3D－MEMS光スイーッチコアモジュールを試作し，光パス接続特性を評価した．本コアモジュールの光学系は，光入出力ポートとして用いる一対のコリメークアレイの間に一対のMEMSミラーアレイを対向させて配置したZ型の構成を有する．開発した128ポートコリメータアレイのビーム出射角度誤差は＜0.065°と極めて小さく，コリメートビームの出射角度誤差に起因するMEMSミラー上でのケラレ損失をアレイ全領域で抑制する効果を示した．試作コアモジュールの全パスにおける光接続特性は，挿入損失＜2.0dB，波長依存損失＜0.5dB （波長範囲1510～1610nm），偏波依存損失＜0.2dBであり，良好な光学特性を有することを確認した．