オンチップ伝送線路配線の期待と課題

摘要

Si CMOSの性能向上は"微細化"に尽きるが，現在，多くの問題や課題が立ちはだかっている. 本稿では，グローパル配線を·コ心に配線遅延についての問題，オンチップ伝送線路配線技術と更に将来に向けての展望について紹介する．