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机译:シリコンパワーデバイスの現状
大村一郎; Ichiro Omura;
(株)東芝 セミコンダクター社;
Toshiba Corporation Semiconductor Company Komukai Toshiba-cho 1, Saiwai-ku, Kawasaki, 212-8582 Japan;
パワーMOSFET; lGBT; スーパージャンクション; 碑ウエハ; Power MOSFET; Super Junction; IGBT; Thin Wafer;
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