狭線幅シリコンフォトニック波長可変レーザモジュール

摘要

シリコン細線光導波路を用いたリング共振器波長フィルタを持っ狭線幅波長可変レーザを作製した。フットプリントは2.6mm×0．5mmと従来のSiON導波路を用いた波長可変レーザと比べて1／9の小型になり、波長可変フィルタの構造を最適化することで最大光出力40mW以上の安定したシングルモード発振、CバンドまたはLバンド全域をカバーする波長可変幅と100kHz以下の狭線幅動作を実現した。さらにフリップチップボンディングにより波長可変フィルタにSOAを集積化させた1チップシリコンフォトニック波長可変レーザを試作した。