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机译:CNTガス透過電極を有するポリイミド湿度センサの高速化のための膜厚及びポリイミド材料の検討
畑山誠; 伊東栄次;
信州大学工学部;
湿度センサ; ポリイミド; 多層カーボンナノチューブ; 薄膜デバイス;
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