光導波路型表面プラズモン共鳴および水晶振動子微量天秤法を用いた複合型吸着センサ

摘要

表面プラズモン共鳴（SPR）は、表面自由電子の集団振動と光の共鳴状態であり［1-3］、主にAgやAuなどの金属薄膜や微粒子において観測される。SPRは表面近傍に強い電界を生じるため分子励起に用いられるほか、光回路や発光デバイスなどへの応用も期待されている［4-6］。さらに、SPR は表面近傍の媒体の膜厚や誘電率に極めて敏感であることから、薄膜堆積や吸着センシング法としても有用である［7-9］。SPR法は簡便な方法であるため、電気化学測定法［10］など、他の薄膜作製法·測定法との組み合わせも比較的容易である。