画像相関法によるひずみ分布解析の利用法

摘要

半導体技術の発達に伴い，レーザー光やデジタル画像を利用した新しいひずみ測定法が開発されてきた。 なかでも比較的簡単な処理と装置でミクロからマクロまでのひずみ分布解析が可能なデジタル画像相関法は応用の範囲が広い。しかしランダムドットの制御や観察時の光学的歪みなど，測定時の校正等で問題点も残され，今後もさまざまな改良がなされ，測定方法としての標準化がなされていくと思われる。