ナノ人工物メトリクスのための2次元ランダム構造形成プロセス最適化と電気的読出しの実験的検討

摘要

レジスト倒壊現象を利用したナノ人工物メトリクスのために，レジスト倒壊のランダム性を高める電子線リソグラフィ条件の最適化とランダム性を決める機構の理解，および，形成した構造を電気的に読み出すためのテストデバイスを試作評価した結果について述べる．