石英アンプルによるLi二次電池用Mn{sub}3O{sub}4薄膜の生成

摘要

Li二次電池の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。 Mn酸化物薄膜は反応性蒸着法により生成している。蒸着の際にるつぼ内の金属Mnの酸化を防止するために、石英アンプル(quartz ampoule)を設置した。 また、Mn酸化物薄膜の成長速度は初回15(A/s)付近で再現性が良いことがわかっている。 本研究では、生成されるMn酸化物薄膜の再現性が良くなるような、石英アンプルの首の長さなどの蒸着変数を調査した。