最新式気中微粒子測定器

摘要

300 mmウェハの本格化に伴ない,0.18μmのルールが必要とされ，ISO 14644-1でも新たにUltra fine particle (0.1μm未満の粒子）が迫加されているように，0.1μm以下のパーティクルカウンタが必要とされている。 PMS社では対象粒径0.05μmからの粒子を測定できるパーティクルカウンタをラインナップしているが，ここでは，広く使用されている，0.1μmのパーティクルカウンタの新製品とカウンタの基本性能について紹介する。