放射光エッチングによる180GHz帯テフロン導波管の試作と評価

摘要

本論文は，放射光直接エッチング，金属のスパッタ蒸着，電解めっきのプロセスを経て行う180GHz 帯テフロン（PTFE）導波管の試作とその評価結果について述べている．放射光の直接照射で微細テフロン構造が形成できることは，これまでに報告されている．テフロン導波管の製作プロセスを概説した後に，本論文では，180GHz 帯で動作する直線およびマイターベンド導波管の試作を行っている．また，測定用の180GHzテフロン導波管フランジについても，同様の製作プロセスで試作している．試作したテフロン導波管の伝送特性の測定結果を示すと共に，異なる長さのテフロン導波管に対する測定結果を用いて伝送損失の評価を行っている．