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机译:MEMSミラーのスイッチング制御アルゴリズムの開発
水上雅人; 根本成; 山口城治;
日本電信電話㈱ NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 〒192-0372 神奈川県厚木市森の里若宮3-1 E-mail: mizukami@aecl.ntt.co.jp;
空間光学系; 最大値探索アルゴリズム; スイッチング制御; 安定化制御;
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