SILプレートによる高分解能故障解析

摘要

2002年、我々はSi基板を直接加工することによって固浸レンズ（SIL；Solid Immersion Lens）として理想的な分解能及び検出性能が得られるFOSSIL（Forming Si Substratein to SIL）を開発した。 但しFOSSILには視野が固定されるという制限があり、今臥視野移動が可能な"SILプレート，，を開発した。 SILプレートは装置構成を全く変更することなく、従来のSILでは不可能であったウエハ試料に対する適用が可能である。 検出性能についてはFOSSILに坪べ多少の分解能の劣イヒはあるものの、90nm－デバイスに対してトランジスタレベルでの解析が可能であることを確認した。 本技術は容易に適用が可能な実用的なSIL技術として有望である。