論理シミュレーションにもとづいたNBTI劣化過渡解析の高速化手法

摘要

負バイアス温度不安定性（NBTI）劣化が，微細化されたトランジスタにおいて重要な信頼性問題のひとつとなっている．本論文では，反応·拡散モデルを用いたNBTIシミュレーションにおいて，論理シミュレーション結果にもとづいて各トランジスタにおけるゲート酸化膜中の水素分布を計算することにより，高精度なNBTI劣化過渡解析を実現する．NBTI劣化の周波数依存性を用いることで，例えば1秒間のシミュレーション結果を1年間のシミュレーション結果へと加速変換する方法についても提案する．